Microsonde électronique (EPMA/WDX)
Cette méthode permet d'effectuer des analyses chimiques précises de tous types de matériaux avec une résolution locale élevée (1 à 2 micromètres). Tous les éléments peuvent être analysés, y compris les éléments "légers" à partir du numéro atomique 5 (p. ex. O, C ou N).
Analysé à l’échelle microscopique
Un faisceau d’électrons finement focalisé produit des rayons X sur l’objet examiné. Les longueurs d’onde des rayons X sont caractéristiques des éléments de l’échantillon. L’analyse des rayons X en fonction des longueurs d’onde et des intensités permet de déterminer les concentrations d’éléments avec une grande précision. La microanalyse par faisceau d’électrons sert à l’analyse quantitative des éléments des corps solides à l’échelle microscopique. Il est possible d’effectuer des analyses ponctuelles qualitatives et quantitatives ainsi que des profils de concentration (linescans) et des analyses de surface (images de répartition des éléments). La limite de détection est de 10-500 mg/g (ppm) selon l’élément et l’échantillon.
Domaines d’application :
- Composition chimique de très petits échantillons
- Analyse locale à l’échelle du micromètre (phases, inclusions, …)
- Composition de couches (couches de projection plasma, couches galvaniques, couches d’oxyde, etc.)
- Analyse de traces